定期維護(hù)多工位真空管式爐是確保其溫度均勻性的關(guān)鍵
發(fā)布時(shí)間:2025-10-20
多工位真空管式爐是新材料研發(fā)、半導(dǎo)體工藝、納米材料合成與科研教學(xué)中的熱處理裝備,其通過多個(gè)獨(dú)立溫區(qū)與真空/氣氛環(huán)境,實(shí)現(xiàn)對(duì)多種樣品的并行或梯度處理。多工位真空管式爐結(jié)構(gòu)復(fù)雜、運(yùn)行條件嚴(yán)苛(高溫、真空、惰性氣體),為確保長(zhǎng)期穩(wěn)定運(yùn)行、溫度均勻性與工藝重復(fù)性,科學(xué)系統(tǒng)的定期維護(hù)保養(yǎng)至...